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一种超宽波段红外长波通截止滤光膜制备方法.pdfVIP

一种超宽波段红外长波通截止滤光膜制备方法.pdf

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    本发明公开了一种超宽波段红外长波通截止滤光膜制备方法，技术方案为：(1)以红外材料硅(Si)为基底，设计膜系公式；计算每层膜的物理厚度值；(2)清洁被镀基底；(3)加温烘烤基底；(4)用离子源在镀膜前和镀膜过程中轰击基底；(5)将ZnS膜料放入旋转阻蒸蒸发源中，将Si、Ge和YbF3三种膜料放入旋转电子枪蒸发源坩锅中，根据上述(1)的公式顺序和厚度值用光学真空镀膜机完成镀膜；(6)退火处理。本发明解决了在红外材料Si基底上镀制超宽波段长波通截止滤光片的工艺难题。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112813391 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202011562378.2 G02B 5/20 (2006.01) (22)申请日 2

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