一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构.pdfVIP

一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构.pdf

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本发明提供了一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构,所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体,各箱体内为腔室,待镀膜的基片在各所述腔室内运行,每个箱体的腔室为一个独立的功能室,待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺,各箱体之间设有门阀结构,所述门阀结构包括两组传动组件、阀轴、两个连接套、多个连接座和阀体,两组传动组件分别通过两个连接套连接在阀轴的两端,阀轴和阀体通过连接座固定连接,两组传动组件连接并驱动阀轴转动,阀轴带动阀体同步转动。本发明的阀轴两端通过两个气缸驱动,阀轴受力均匀、运行平稳,使阀轴带动阀

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112815141 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 201911116185.1 (22)申请日 2019.11.15 (71)申请人 湘潭宏大真空技术股份有限公司

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