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光感测装置和具有平面内及出平面运动的装置.pdfVIP

光感测装置和具有平面内及出平面运动的装置.pdf

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    本发明提供一种具有平面内及出平面运动的装置，包括：一应用组件，配置用于一应用功能；一平面内运动驱动器，于其上安装该应用组件，且赋能该应用组件相对于一参考平面以三个自由度移动：一出平面运动驱动器，于其上承载该平面内运动驱动器，且包含一单轴致动器，其中：该第一单轴致动器具有一致动端，以及该致动端赋能该应用组件相对于该参考平面以不同于该三个自由度的第四个自由度移动。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838101 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011233797.1 G03B 5/02 (2021.01)

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