- 1、本文档共8页,其中可免费阅读7页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种金字塔绒面上优化均匀性的工艺方法,包括以下步骤:步骤S1,提供太阳能电池原始硅片,对原始硅片进行制绒生长金字塔绒面,再进行绒面清洗预处理;步骤S2,对硅片进行扩散工艺处理;步骤S3,对硅片表面抛光处理;步骤S4,对硅片表面采用双向交替的气流方式沉积氧化铝膜。本发明采用了双向交替的进气方式生长氧化铝膜,可以把氧化铝膜的均匀性大幅提高,在金字塔绒面结构下氧化铝膜的均匀性同样可以控制在3%以内,可以把氧化铝膜更强的场钝化效果发挥出来,降低俄歇复合、SRH复合和表面复合,大大提高了钝化效
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112838144 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110087977.1 C23C 16/455 (2006.01)
(22)申请日
文档评论(0)