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用于具有低寄生电容的晶体管的结构和制造方法,所述晶体管包括绝缘低介电常数第一处理晶片或第二处理晶片。在一个实施方式中,替代常规设计的硅衬底,使用单层转移技术来靠近SOI晶体管的金属互连层/金属层堆叠定位绝缘LDC处理晶片。在另一实施方式中,使用双层转移技术来利用绝缘LDC衬底替代现有技术结构的硅衬底。在一些实施方式中,绝缘LDC处理晶片包括至少一个空气腔,所述至少一个空气腔降低了围绕RFFET的材料的有效介电常数。绝缘LDC处理晶片减少了插入损耗和非线性度,增加了隔离度,提供了堆叠晶体管的更理
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112823418 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 201980061754.9 阿拉因 ·迪瓦莱
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