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2023-06-07 发布于四川
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一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法.pdf

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本发明提供一种基于金属微腔阵列的微型光谱仪模组的实现方法，以提高其光谱分辨率、降低微腔阵列中腔内介质层的制备方法的工艺复杂性；所述的微型光谱仪模组中包括具有以金属薄膜为反射层的Fabry‑Perot结构的微腔阵列和探测器阵列；所述的提高光谱分辨率的方法包括通过基于准单色光的预置校准信息和光谱重构来获取光谱的方法、和增加微腔阵列中的微腔单元数目；所述的微腔阵列中腔内介质层的制备方法是通过较少次数的工艺步骤来获得具有较大数目的不同厚度的腔内介质层，以此实现具有较大数目微腔单元的微腔阵列。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112834036 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011636504.4 (22)申请日 2020.12.31 (66)本国优先权数据 2020110

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