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一种麦克风设备包括基底和微机电系统(MEMS)换能器以及设置在基底上的集成电路(IC)。该麦克风设备还包括盖，该盖安装在基底上并覆盖MEMS换能器和IC。MEMS换能器包括附接至基板的表面的振膜以及安装在基板上并与振膜成间隔开的关系的背板。振膜沿着振膜的外围的至少一部分附接至基板的表面。振膜可以包括氮化硅绝缘层和面向背板的导电层的导电层。MEMS换能器可以包括设置在振膜的至少一部分与基板之间的外围支撑结构。振膜可以包括一个或更多个均压孔。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112823532 B
(45)授权公告日 2022.05.31
(21)申请号 201980065029.9 余兵 M ·昆特兹曼 马云飞
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