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本发明提供一种对准装置、对准方法、成膜装置及成膜方法，进一步提高对准装置的对准精度。本发明的对准装置是用于调整基板与掩模的相对位置的对准装置，其特征在于，所述对准装置包括：基板保持器，所述基板保持器保持基板；掩模保持器，所述掩模保持器支承掩模；基板保持器驱动机构，所述基板保持器驱动机构将所述基板保持器支承为能够移动；掩模保持器驱动机构，所述掩模保持器驱动机构将所述掩模保持器支承为能够移动；相对位置关系取得部件，所述相对位置关系取得部件取得与基板的面平行的面内的基板与掩模的相对位置关系；以及第一位
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112824553 A
(43)申请公布日 2021.05.21
(21)申请号 202011277739.9 C23C 16/458 (2006.01)
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