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立体存储器元件.pdfVIP

立体存储器元件.pdf

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    本发明公开了一种立体存储器元件，包含多个导电层以及多个绝缘层，其彼此交错叠层以形成一多层叠层结构。多层叠层结构具有一阶梯区域以及一非阶梯区域，阶梯区域包含多个阶，每一阶包含这些导电层以及这些绝缘层其中紧邻的一对。多个存储器结构位于非阶梯区域，每一存储器结构穿越这些导电层以及这些绝缘层。一鱼骨型介电结构包含一主干以及多个侧支，这些侧支在阶梯区域内从主干向外延伸，其中主干于非阶梯区域内穿越这些存储器结构。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838090 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201911239993.7 H01L 27/11578 (2017.01) (22)申请日

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