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本发明公开一种双面多工位卷绕式真空镀膜机，用于新能源动力电池领域中在柔性基膜上制备多层膜层，该真空镀膜机主要包括放卷室、真空蒸发镀膜室、磁控溅射镀膜室、收卷室、卷绕系统。磁控溅射镀膜室竖直立式排布，位于真空镀膜机的中部；真空蒸发镀膜室有2‑10个，呈层叠分两列排布于磁控溅射镀膜室的两侧，真空蒸发镀膜室内设置有蒸发装置；卷绕系统主要包括位于放卷室中的放卷辊、位于收卷室中的收卷辊，以及每个真空蒸发镀膜室中设置的主辊、前预冷辊和后预冷辊；位于蒸发装置上方的主辊承载需要进行蒸发镀膜的基膜，主辊内部通入循
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112813400 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202110345071.5
(22)申请日 2021.03.31
(71)申请人 辽宁分子流科技有限公司
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