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在实施例中,一种器件包括:第一管芯阵列,包括第一集成电路管芯,第一集成电路管芯的取向沿着第一管芯阵列的行和列交替;第一介电层,围绕第一集成电路管芯,第一介电层和第一集成电路管芯的表面是平坦的;第二管芯阵列,包括位于第一介电层和第一集成电路管芯上的第二集成电路管芯,第二集成电路管芯的取向沿着第二管芯阵列的行和列交替,第二集成电路管芯的前侧通过金属对金属接合和通过电介质对电介质接合而接合至第一集成电路管芯的前侧;以及第二介电层,围绕第二集成电路管芯,第二介电层和第二集成电路管芯的表面是平坦的。本发明
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112820722 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011224687.9
(22)申请日 2020.11.05
(30)优先权数据
16/684,91
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