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2023-06-07 发布于四川
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激光加工装置以及相位图案的调整方法.pdf

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提供激光加工装置以及相位图案的调整方法，能够抑制加工装置间的向被加工物照射的激光束的性能差异，从而能够得到期望的加工结果。激光加工装置包含向被加工物照射激光束的激光束照射单元和控制单元。激光束照射单元包含：激光振荡器，其振荡出激光；聚光透镜；凹面镜，其在聚光透镜的聚光点处具有焦点，并且反射面为球面；分束器，其使从激光振荡器射出的激光束向聚光透镜通过并对反射光进行分支；以及波面测定单元，其接收反射光并取得激光束的波面数据，控制单元根据波面数据来变更显示在空间光调制器的显示部上的相位图案。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112809165 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011259115.4 H01L 21/67 (2006.01)

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