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一种中红外超导纳米线单光子探测器.pdfVIP

一种中红外超导纳米线单光子探测器.pdf

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    本发明公开了一种中红外超导纳米线单光子探测器，采用电子束光刻技术和反应离子刻蚀技术，将含Mo、Si非晶或多晶超导薄膜，制成超导纳米线，作为探测器的光敏面，实现了中红外SNSPD的有效制备；采用中红外光源、可调衰减器、准直器、带通滤波器、稀释制冷机、光敏面、偏置器、放大器和计数器，组成探测器，采用自由空间耦合技术，有效解决了光纤耦合中红外SNSPD的难题；发射并接收中红外波段的光子，计算单位时间到达光敏面的光子数，为有效计算中红外SNSPD量子探测效率奠定了基础。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112798116 B (45)授权公告日 2022.03.18 (21)申请号 202110042317.1 H01L 39/12 (2006.01)

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