用于沉积钨薄膜或钼薄膜的方法.pdfVIP

用于沉积钨薄膜或钼薄膜的方法.pdf

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本文描述用于沉积金属薄膜或层到衬底上的气相沉积方法，其中所述金属是钼或钨；所述方法涉及含有所述金属及一或多种含碳配体的有机金属前驱物化合物，并包含沉积由所述前驱物的所述金属形成的金属层到衬底上，随后将氧化剂引入到所述形成的金属层。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112840063 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 201980066362.1 (74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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