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本发明描述一种带电粒子束设备(100)，所述带电粒子束设备(100)包括：束源(105)，经配置以产生沿着光轴(A)传播的的带电粒子束(101)；具有多个孔隙的孔隙设备(110)，所述孔隙经配置以从带电粒子束产生多个细束(102)；场曲校正器(120)。场曲校正器(120)包括：具有第一多个开口的第一多孔隙电极(121)，第一多个开口具有随着距光轴(A)的距离的函数而发生变化的直径；具有第二多个开口的第二多孔隙电极(122)；及调整设备(132)，经配置以调整第一多孔隙电极(121)的第一电位(
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112840431 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 201980067541.7 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公
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