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2023-06-07 发布于四川
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一种用于晶圆的清洗装置.pdf

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本发明公开了一种用于晶圆的清洗装置，包括保护机构、固定机构、传送机构、清洗机构，所述保护机构上设置有所述传送机构，所述传送机构上端连接有所述固定机构，所述固定机构上侧设置有所述清洗机构，所述清洗机构之间通过联动机构连接，所述清洗机构、所述传送机构动力端均连接动力机构。本发明所述齿条起配合配合齿轮作用，从而使得晶圆在清洁时进行旋转，利用多级联动效果，提高了动能利用率，同时能够进行配合运动清洗提高清洗效果，利用移动的固定座配合按压弹性阀进行喷水清洗，同时避免清洁剂的空喷，从而提高清洁剂的使用效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112838030 B (45)授权公告日 2021.08.27 (21)申请号 202011613524.X B08B 1/02 (2006.01)

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