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应用于LCOS系统位相调制工作台的高速运动控制方法及系统.pdfVIP

应用于LCOS系统位相调制工作台的高速运动控制方法及系统.pdf

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    本发明公开了一种应用于LCOS系统位相调制工作台的高速运动控制方法，包括将大幅面加工图形分割为若干个图形块，生成对应每个图形块的二维物理坐标及图形块编号，将位置文件中的二维物理坐标集合按行或列进行递增排序；运动控制器将数据按行或者列依次上载到运动控制器内存中，将对应所述图形块编号的子位图按行或者列依次上载到LCOS板卡内存中；工作台扫描轴通过位置触发时序脉冲信号，并同时发送给LCOS和脉冲光源，形成快速脉冲扫描曝光。本发明利用脉冲激光能量大、脉宽短、重复频率高特点，基于多个脉冲实现单帧偏振图案记

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112817180 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 20191

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