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本公开提供了一种铝铜旋转靶的制备方法，其包括：将D50为15μm～45μm的铝粉和铜粉混合均匀后装入送粉器；背管外表面进行处理，使其粗糙度Ra为8μm～13μm；将背管水平安装在机架上，背管能够围绕轴线旋转且能够沿轴线往复运动；将喷枪安装在机台上，喷枪位于背管上方并垂直于喷枪的轴线，喷枪连接并连通送粉器，机台能够使喷枪上下移动；使背管围绕轴线旋转并沿轴线水平移动且喷枪向背管外表面喷射铝粉和铜粉，背管围绕轴线旋转的速度为30转/分～45转/分，背管沿轴线水平移动的速度为20mm/min～35mm/
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112795912 B
(45)授权公告日 2022.07.01
(21)申请号 202011583664.7 C23C 14/35 (2006.01)
(22)申请日 2020.12
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