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本发明提供一种晶圆自动对针装置及方法，包括：由镜头表面有十字丝标志的相机组成的图像采集组件、通过光栅尺进行定值运动的运动组件、数据处理组件、用于承载待对针晶圆的晶圆托盘、与待对针晶圆进行对针的探针卡；图像采集组件用于采集晶圆托盘、探针卡和待对针晶圆的图像，并将图像传递至数据处理组件；数据处理组件用于处理接收到的图像数据，并根据数据计算出对针参数；晶圆托盘与运动组件连接固定，通过运动组件驱动晶圆托盘进行运动。本发明通过图像识别及光栅尺定位的方式进行晶圆对针，可同时完成X向、Y向和Z向三个方向的对针
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112798933 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202110120229.9
(22)申请日 2021.01.28
(71)申请人 长春
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