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目标缺陷检测方法及装置、系统、电子设备和存储介质.pdfVIP

目标缺陷检测方法及装置、系统、电子设备和存储介质.pdf

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    本发明涉及一种晶圆上目标缺陷的检测方法，其通过对待检测缺陷图像进行边缘提取，得到至少一个待识别目标的边缘图形，并将该边缘图形与数据库中预存的参考图形进行匹配，若匹配不成功，则将该待识别目标判定为晶圆缺陷。即本发明只需要对晶圆缺陷图像进行边缘提取之后，即可进行晶圆缺陷的识别，无需人工筛查，提高了检测效率；并且，进行晶圆缺陷识别时，无需提供对比模板图像，自然也就无需对两个图像进行处理，降低了计算机的计算量，提高了计算机的计算效率。相应地，本发明还提供了一种目标缺陷的检测装置及系统、电子设备和计算机可

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112819799 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110176686.X (22)申请日 2021.02.09 (71)申请人 上海众壹云计算科技有限公司

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