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一种硅料的清洗方法.pdfVIP

一种硅料的清洗方法.pdf

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    本发明公开了一种硅料的清洗方法，使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座，所述驱动机构位于所述机座上侧，所述升降机构位于所述机座顶部，还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动，同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动，从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度，继而来提高清洗效率，利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内，利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上，从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112808683 B (45)授权公告日 2022.06.10 (21)申请号 202011613503.8 B08B 3/10 (2006.01)

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