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本文描述的实施例关于磁性和电磁系统以及用于控制PECVD腔室的处理空间中产生的等离子体的密度分布以影响膜的沉积分布的方法。在一个实施例中，多个固定架设置在磁性壳体系统的旋转磁性壳体中。所述多个固定架中的每个固定架设置在所述旋转磁性壳体中，每个固定架之间的距离为d。所述多个固定架具有可移除地设置在其中的多个磁铁。当旋转磁性壳体绕圆形中心开口旋转时，所述多个磁铁经配置在圆环形路径中行进。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112889128 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 201980069906.X P ·曼纳 E ·文卡塔苏布磊曼聂
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