- 1、本文档共24页,其中可免费阅读23页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种半导体结构的制造方法及半导体结构,涉及半导体技术领域,该半导体结构的制造方法包括:提供基底,基底中形成有有源区和隔离区;在有源区内形成沟槽,沟槽包括位于上部的第一沟槽以及位于下部且与第一沟槽连通的第二沟槽,第一沟槽的宽度大于第二沟槽的宽度;在第一沟槽和第二沟槽内形成栅极结构。本发明通过第一沟槽的宽度大于第二沟槽的宽度,使得沟槽的形状为倒置的凸字型,即,沟槽的侧壁包括顺次连接的第一段、第二段以及第三段,第二段与第一段相互垂直,相对于沟槽的形状为U型而言,在不增加沟道深度的前提下,能够
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112864155 B
(45)授权公告日 2022.05.03
(21)申请号 202110004446.1 (56)对比文件
(22)申请日 2021.01.04
您可能关注的文档
- 适用智慧办公的快装多功能桌屏夹.pdf
- 一种基于深度学习和坩埚下降法的导电型氧化镓制备方法.pdf
- 头尾板安装机.pdf
- 一种金耳培养基及利用其培养金耳的方法.pdf
- 一种自愈合水凝胶微纤维织物的制备方法.pdf
- 便携式电愈贴及其制备方法.pdf
- 一种FP类芯片管脚成形装置及成形方法.pdf
- 一种基于工业物联网的数据采集控制装置.pdf
- 一种农业治污造肥处理装置和农业废弃物处理方法.pdf
- 一种基于深度学习和坩埚下降法的高阻型氧化镓制备方法.pdf
- 第12课 大一统王朝的巩固 课件(20张ppt).pptx
- 第17课 君主立宪制的英国 课件.pptx
- 第6课 戊戌变法 课件(22张ppt).pptx
- 第三章 物态变化 第2节_熔化和凝固_课件 (共46张ppt) 人教版(2024) 八年级上册.pptx
- 第三章 物态变化 第5节_跨学科实践:探索厨房中的物态变化问题_课件 (共28张ppt) 人教版(2024) 八年级上册.pptx
- 2025年山东省中考英语一轮复习外研版九年级上册.教材核心考点精讲精练(61页,含答案).docx
- 2025年山东省中考英语一轮复习(鲁教版)教材核心讲练六年级上册(24页,含答案).docx
- 第12课近代战争与西方文化的扩张 课件(共48张ppt)1.pptx
- 第11课 西汉建立和“文景之治” 课件(共17张ppt)1.pptx
- 唱歌 跳绳课件(共15张ppt内嵌音频)人音版(简谱)(2024)音乐一年级上册第三单元 快乐的一天1.pptx
文档评论(0)