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本发明涉及一种基于柔性铰链的时滞效应的惯性式压电驱动器，属于精密机械领域。包括底座、压电元件、柔性铰链、质量块、滑动轨道和动子。压电元件基于压电陶瓷的逆压电效应将电能转化为动能，利用惯性原理驱动主质量块运动。利用柔性铰链的时滞效应，后质量块对机构产生二次运动。全部质量块安装在滑动轨道上，减小机构与底座产生的摩擦力。动子作为驱动装置的输出终端，安装在主质量块的上方。具有运动平稳，结构简单，易于控制，较易实现大行程运动且具有无电磁干扰、结构紧凑、轻巧的特点。目前，在纳米技术、光学仪器、微操作领域由良
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112865597 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110343259.6
(22)申请日 2021.03.30
(71)申请人 吉林大学
地址 13
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