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本发明公开了一种扇出型板级封装方法,包括:提供具有阵列式分布的多个窗口的薄膜;将所述薄膜贴附在第一载板上;将芯片贴附在对应的所述窗口处;用干膜覆盖所述薄膜和芯片并填充所述薄膜和芯片之间的间隙;固化所述干膜;去除所述第一载板,得到薄膜‑芯片‑干膜结构。还公开了一种扇出型板级封装结构。本发明能解决现有的扇出型板级封装工艺中的全板易翘曲、易断裂、工艺复杂等问题,有效降低了封装成本,可靠性高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864027 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110035869.X
(22)申请日 2021.01.12
(71)申请人 浙江
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