有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种静电卡盘以半导体加工设备，静电卡盘包括绝缘层和温度调节结构；其中，绝缘层中设置有直流电极，用于静电吸附置于绝缘层上的被加工工件；温度调节结构包括设置在绝缘层底部的绝缘基体，绝缘基体中设置有对地悬浮的热交换部件，热交换部件包括自绝缘基体的上表面暴露出来的接触面，接触面与绝缘层的下表面相接触，用以通过热传导控制被加工工件的温度。本发明提出的静电卡盘及半导体加工设备，其能够减小直流电极的对地电容，以减小在对地电容上的功率损耗，提高工艺效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864079 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110096674.6
(22)申请日 2021.01.25
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
文档评论（0）