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本发明提供了一种对准标记、标记有哪些信誉好的足球投注网站装置、标记有哪些信誉好的足球投注网站方法和光刻设备。对准标记置于光刻设备的衬底上和/或衬底台的基准板上,对准标记呈L型,包括垂直相交的第一分支和第二分支,第一分支由第一光栅结构并排构成,且第一光栅结构与第一分支的延伸方向具有第一夹角;第二分支由第二光栅结构并排构成,且第二光栅结构与第二分支的延伸方向具有第二夹角,所述第一夹角和所述第二夹角互为余角。所述标记有哪些信誉好的足球投注网站方法结合对准标记的形状,先通过螺旋式移动衬底台获取对准标记的粗有哪些信誉好的足球投注网站位置,再结合得到的粗有哪些信誉好的足球投注网站位置,通过对角式移动衬底台获取对准标
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112882357 B
(45)授权公告日 2022.04.15
(21)申请号 201911206576.2 (56)对比文件
(22)申请日 2019.11.29
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