- 1、本文档共12页,其中可免费阅读11页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种用于晶圆搬运机器人的双臂水平运动结构,包括骨架结构、双臂结构和驱动结构;双臂结构包括结构相同的两组运动结构,运动结构分别相对设置并安装在骨架结构两侧;驱动结构分别位于双臂结构两侧,驱动双臂结构在水平方向往复运动。通过采用带传动结构,把滑动连接块运动路径上的空隙遮蔽起来,减少了结构内部与外部环境的空气对流,确保结构内部的颗粒和粉尘不会逸散到外部空间中去,从而达到高等级超净环境中安装使用的要求;主动轮支架与主动轮转动连接,对主动轮起到辅助支撑的作用,提高主动轮转动时的稳定性;通过调整
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112828867 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202110217024.2
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 昀智科技(北京)有限责任公司
您可能关注的文档
- 一种基于海况条件和船舶航行状况预测恶劣海况下船舶油耗的方法.pdf
- 用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构.pdf
- 适用于超净间的龙门型大负载高精度升降装置.pdf
- 一种低热膨胀系数复合水泥的制备方法.pdf
- 解决土地资源紧张的综合生活系统.pdf
- 一种变换器优化方法、系统、计算机设备及存储介质.pdf
- 一种数据处理方法和相关装置.pdf
- 一种利用矩阵型摄像头观察并处理滴胶板气泡条纹的装置.pdf
- 一种贴合于水下航行器壳体外表面的消声瓦及水下航行器.pdf
- 一种高效低耗油皮腐竹生产工艺.pdf
- 2025年七台河职业学院单招职业适应性测试题库及答案解析.docx
- 2025年青岛求实职业技术学院单招职业适应性测试题库及答案解析.docx
- 2025年山东城市建设职业学院单招职业适应性测试模拟试题及答案解析.docx
- 2025年山东省滨州市高职单招职业适应性测试题库及答案解析.docx
- 2025年衢州职业技术学院单招职业适应性测试题库及答案解析.docx
- 2025年泉州幼儿师范高等专科学校单招职业适应性测试题库及答案解析.docx
- 2025年内蒙古自治区高职单招职业适应性测试模拟试题及答案解析.docx
- 2025年宁夏财经职业技术学院单招职业适应性测试模拟试题及答案解析.docx
- 2025年萍乡卫生职业学院单招职业适应性测试题库及答案解析.docx
- 2025年濮阳石油化工职业技术学院单招职业适应性测试模拟试题及答案解析.docx
文档评论(0)