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2023-06-08 发布于四川
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一种真空箱及氦质谱密封性测试设备.pdf

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本发明公开了一种真空箱及氦质谱密封性测试设备，真空箱包括：箱体，箱体包括箱主体和箱门体，箱主体包括容纳腔室；平移驱动机构，连接箱门体和箱主体，用于驱动箱门体相对箱主体滑动以打开或关闭容纳腔室；压紧机构，压紧机构包括压紧件；当箱门体滑动至关闭容纳腔室的位置时，压紧机构适于驱动压紧件压紧或松开箱门体。本发明的真空箱采用平移式压紧设计，能够自动控制打开或关闭箱门，具有操作方便、占用空间小和密封效果好的特点。氦质谱密封性测试设备通过两个真空箱切换，当其中一个真空箱的产品检测完毕时，另一个真空箱就可以进行

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112849772 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110252255.7 (22)申请日 2021.03.08 (71)申请人广州阿普顿自动化系统有限公司

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