一种具有除杂功能的芯片生产设备.pdfVIP

一种具有除杂功能的芯片生产设备.pdf

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本发明涉及一种具有除杂功能的芯片生产设备,包括连接管和吸嘴,所述连接管竖向设置,所述吸嘴安装在连接管的底端,所述吸嘴上设有吸附孔,所述吸附孔与连接管同轴设置,所述吸附孔的孔径小于连接管的内径,其特征在于,所述连接管上设有吸附机构,所述吸嘴上设有辅助机构,所述吸附机构包括吸附组件和风力组件,所述吸附组件包括动力单元和两个吸附单元,所述动力组件包括驱动电机、密封环、传动轴和连接环,该具有除杂功能的芯片生产设备通过吸附机构实现了吸嘴吸附晶片的功能,不仅如此,还通过辅助机构实现了清除吸附孔内杂质的功能,

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864077 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110084009.5 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人 深圳市壹闻科技有限公司

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