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2023-06-08 发布于四川
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一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用.pdf

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本发明公开了一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用。所述氧化钒缓蚀含氟剥离液的制备方法为将其原料混合即可，其中所述原料包括下列组分：氟化物、烷醇胺、缓蚀剂、络合剂、直链酰胺类有机溶剂、砜类和/或亚砜有机溶剂、醇醚类有机溶剂、烷酮类有机溶剂、PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物和余量的水，所述的PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物为Tetronic901、Tetronic904和Tetronic908中的一种或多种。本发明的氧化钒缓蚀含氟剥离液能有效去除待剥离材料，且对例如VOX/PI/Ni等材料的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112859554 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110156148.4 (22)申请日 2021.02.04 (71)申请人上海新阳半导体材料股份有限公司

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