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本发明公开了一种氧化钒缓蚀含氟剥离液、其制备方法及应用。所述氧化钒缓蚀含氟剥离液的制备方法为将其原料混合即可,其中所述原料包括下列组分:氟化物、烷醇胺、缓蚀剂、络合剂、直链酰胺类有机溶剂、砜类和/或亚砜有机溶剂、醇醚类有机溶剂、烷酮类有机溶剂、PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物和余量的水,所述的PO‑EO‑乙烯基二元胺共聚物为Tetronic901、Tetronic904和Tetronic908中的一种或多种。本发明的氧化钒缓蚀含氟剥离液能有效去除待剥离材料,且对例如VOX/PI/Ni等材料的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112859554 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110156148.4
(22)申请日 2021.02.04
(71)申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司
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