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一种桥式差动柔性位移缩小机构,包括固定半桥柔性模块、活动半桥柔性模块、刚性连接块和驱动器;固定半桥柔性模块和活动半桥柔性模块均设置在两个刚性连接块之间,形成环形框架,驱动器设置在环形框架内的两个刚性连接块之间;固定半桥柔性模块和活动半桥柔性模块的弯曲方向相同;本发明利用两个半桥柔性模块的组合实现位移的差动叠加,可以得到大的位移缩小比,从而大幅提升运动的分辨率和精度;桥式差动柔性位移缩小机构可以与宏动平台配合,实现大范围、超高精度的运动定位。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112859535 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110033934.5
(22)申请日 2021.01.11
(71)申请人 西安交通大学
地址
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