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薄膜传感器及其制备方法.pdfVIP

薄膜传感器及其制备方法.pdf

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    本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法，该薄膜传感器包括：基片；设置在基片上的绝缘层；以及设置在所述绝缘层上的第一薄膜热电偶、薄膜热电偶阵列和敏感栅单元3种器件中的至少两种；所述第一薄膜热电偶用于温度测量；所述薄膜热电偶阵列用于热流密度测量；所述敏感栅单元用于应变测量。实现了一个薄膜传感器能够同时完成温度、热流密度及应变中至少两种数据的测量，可有效减小传感器体积，从而减小传感器对待测的高温部件面积的占用，降低传感器对高温部件表面换热及表面气流的干扰。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112857439 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110010411.9 (22)申请日 2021.01.06 (71)申请人 中北大学 地址 03

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