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本发明公开一种可侧向超声激励和探测的一体化光纤式光声探头,探头中光纤(1)的侧壁被抛磨,并沉积有光声材料(31),形成光声信号激励单元(3)以激励光声信号;并通过飞秒激光刻蚀,制作法布里‑珀罗(Fabry‑Perot,F‑P)干涉腔,形成由介质镜(21)—聚合物膜(22)—介质镜(23)组成的F‑P腔式光声信号探测单元(2),用于光声信号的探测;在光纤纤芯(4)上制作45度斜光栅(5),用于激励光与探测光的分离。由于斜光栅(5)的滤波作用,光纤(1)内传输的激励光束经斜光栅(5)透射至光纤端(6
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112858180 B
(45)授权公告日 2022.03.29
(21)申请号 202110037631.0
(22)申请日 2021.01.12
(65)同一申请的
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