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超级结深沟槽外延填充参数的计算方法.pdfVIP

超级结深沟槽外延填充参数的计算方法.pdf

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    本发明公开了一种超级结深沟槽外延填充参数的计算方法，对不同产品通过其基础参数计算深沟槽需要填充的总容积，在相同外延填充时间条件下收集其化学机械研磨终点检知时间数据，通过大数据分析得到深沟槽体积与EPD的线性关系，根据线性关系及外延过填程度和EPD的关系再进行理论推导，可以快速高效地推算出不同产品需要的理论外延填充时间，不再需要进行FASEM切片或做外延填充时间拉偏实验来确认填充程度，不仅节省大量测试环节时间，而且提高了外延工艺精准度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112861199 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110023386.8 (22)申请日 2021.01.08 (71)申请人 上海华虹宏力半导体制造有限公司

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