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本发明公开了一种用于电镜观察的微米级球形颗粒截面的制备方法，包括如下步骤：(1)将导电胶带粘贴于导电金属基体上；(2)取微米级球形颗粒粉末平铺粘在导电胶带上，并吹走多余粉末；(3)将粘有粉末的导电金属基体置于离子束抛光机内进行抛光，采用平面抛光模式，抛光角度为0～2°，抛光电压和时间为5～8kV5～40min+3～5kV5～20min+0.5～2kV5～20min，即可获得满足扫描电镜观察的颗粒截面。本发明不需要包埋处理，不用消耗额外的制样耗材；时间短，成本低，操作性强；耗时仅为截面抛光模
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112858362 B
(45)授权公告日 2022.05.27
(21)申请号 202110023510.0 G01N 1/32 (2006.01)
(22)申请日 2021.01.
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