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本发明公开一种红外窗口增透保护膜，属于红外光电技术领域。包括基底层、过渡层和类金刚石层；所述基底层由硫族材料、锗或硅材料通过物理气相沉积的方式进行沉积，沉积过程中利用氩气进行离子辅助，以增加膜层的致密性，同时减小膜层的应力；所述过渡层的材料为锗、硅、硒化锌和氟化镱，有很好的附着力，有利于类金刚石层在硫族材料上的沉积；且分为四层结构、六层结构和八层结构；所述类金刚石层通过化学气相沉积的方法制备，采用丁烷为气源，氩气为载气进行沉积，沉积过程中控制两者的比例和射频功率的大小。所述过渡层作为类金刚石层和
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112859208 B
(45)授权公告日 2022.05.17
(21)申请号 202110192583.2 审查员 邹盼
(22)申请日 2021.02.20
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