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本公开实施例公开了一种降低表面缺陷影响的刻蚀方法。所述方法包括:提供表面包括凸起和/或凹陷的基底结构作为表面缺陷基底;在所述基底结构上形成第一掩膜层;其中,所述第一掩膜层包括覆盖所述凸起和/或凹陷的第一表面;所述第一掩膜层还包括平坦的第二表面,所述第二表面与所述第一表面相对设置;在所述平坦的第二表面上形成第二掩膜层;刻蚀所述第二掩膜层和所述第一掩膜层,以形成垂直穿过所述基底结构的凹槽。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112864003 B
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202110044463.8 H01L 27/11524 (2017.01)
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