- 1、本文档共11页,其中可免费阅读10页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了掩膜版技术领域的一种金属掩膜版框架安全夹具,包括固定基座和夹具支架,夹具支架之间设置有对位部件,所述对位部件可向内部进行手动滑动,夹具支架上安装气动微调节夹具,气动微调节夹具用微气流作为动力,推动夹持部对掩膜版的框架侧边进行夹持,调节夹持力度,冲支台对掩膜版的底部区域进行缓冲支撑,掩膜版整体底部受力均匀,本发明通过设置对位部件将掩膜版的框架进行挤压对齐,保证掩膜版在夹持前保持稳定和正确的夹持姿态,通过设置的气动微调节夹具通过控制气体的流速控制夹头的夹持力度,气体推动提供推力更加便于对
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112873082 B
(45)授权公告日 2022.05.17
(21)申请号 202011546493.0 (56)对比文件
(22)申请日 2020.12.23
文档评论(0)