抛光头检测装置、腔室气密性和传感器有效性检测方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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抛光头检测装置、腔室气密性和传感器有效性检测方法.pdf

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本申请公开了抛光头检测装置，其基座上具有气路控制部件，且抛光头连接部件具有多个连通抛光头中的所有腔室的通孔，气路控制部件的输出管路一一对应地连通至通孔，且每个输出管路中均包括气路开关和压力检测传感器，气路开关用于控制其所在的输出管路的开和关，压力检测传感器用于检测对应抛光头的腔室内的气体压力，气路控制部件内还具有压力调节部件，其通过同一条主通路与每一个输出管路相连，并通过输出管路用于输出预设气压至对应腔室。基于上述装置，本申请还公开了腔室气密性和传感器有效性检测方法，能同时给抛光头每个腔室加压，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112847138 B (45)授权公告日 2021.07.30 (21)申请号 202110448856.5 G01M 3/26 (2006.01)

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