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碳化硅蚀刻工装.pdfVIP

碳化硅蚀刻工装.pdf

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    本发明公开了一种碳化硅蚀刻工装，涉及碳化硅蚀刻技术领域。该碳化硅蚀刻工装包括支撑杆及多个托架。支撑杆竖直设置，且支撑杆的侧面开设有多个第一连接缺口。多个托架均呈水平设置，且均用于承接碳化硅衬底，多个托架一一可拆卸地卡持于多个第一连接缺口内。该碳化硅蚀刻工装能够同时蚀刻多个碳化硅衬底，具有蚀刻效率较高，且蚀刻灵活性较高的特点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864062 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202011644791.3 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 湖南三安半导体有限责任公司

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