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本发明公开了一种基于压电材料的气体测量装置及方法，该装置包括压电光声腔组件、隔音支撑组件、激励光源组件、光束整形组件以及信号处理组件。装置核心器件压电光致声波收集腔由压电材料制成，可实现对光致声波信号的高效收集探测；检测方法为激励光源输出的光束在光致声波收集腔内与目标气体相互作用产生光声信号，光声信号导致光致声波收集腔的体积周期性形变进而基于压电效应产生电信号，信号处理组件对信号进行处理获得气体浓度信息。本发明的光致声波收集腔，避免了宽频麦克风的使用，缩小了光声池的体积，降低了光声池的制备难度及
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112858184 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202110127194.1 (56)对比文件
(22)申请日 2021.01.29
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