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2023-06-08 发布于四川
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本发明提供一种测试方法及装置，用于测试3DNAND存储器中字线的可靠性，提供测试装置，测试装置包括：第一测试端和第二测试端，第一测试端将第奇数条字线的接触结构串联在一起，第二测试端将第偶数条字线的接触结构串联在一起，第奇数条字线和第偶数条字线相互平行，且相邻的字线之间存在间隔。由于第奇数条字线串联在一起，第偶数条字线串联在一起，若相邻的两条字线之间存在刻蚀穿通的情况，将使得所有的字线串联在一起，即第一测试端和第二测试端处于连接状态，若相邻的两条字线之间不存在刻蚀穿通的情况，第一测试端和第二测试

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112864036 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110008029.4 (22)申请日 2021.01.05 (71)申请人长江存储科技有限责任公司

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