硅微谐振式加速度计的干扰模态抑制装置与方法.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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硅微谐振式加速度计的干扰模态抑制装置与方法.pdf

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本发明公开了一种硅微谐振式加速度计的干扰模态抑制装置与方法，加速度计结构设置在三层单晶硅的中层单晶硅片上，该结构包括质量块、两个谐振器、四个微杠杆放大机构、应力释放机构、多个支撑梁和多个固定基座；两个谐振器沿着x轴对称布置在质量块中间，微杠杆放大机构位于两个谐振器之间；两个谐振器内侧一端分别与两个微杠杆的输出端相连，与同一个谐振器相连的两个微杠杆的支点端连接到同一个应力释放机构，应力释放机构再与固定基座相连，谐振器的另一端也设有应力释放机构；微杠杆放大机构与质量块相连，质量块通过支撑梁与固定基座

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112858723 A (43)申请公布日 2021.05.28 (21)申请号 202110050367.4 (22)申请日 2021.01.14 (71)申请人南京理工大学地址

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