一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台.pdfVIP

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2023-06-08 发布于四川
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一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台.pdf

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本发明一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台属于精密测试计量、微机电系统、IC芯片测试及探针卡技术领域；该探针装载载物台包括固定台和装载台，固定台和装载台之间通过转轴连接；固定台包括下部承载台和上部参考台；装载台侧面设置有挤压结构，相对连接上部参考台的另一侧，设置有竖直调整支架，竖直调整支架的端部设置有升降板；被测件的待测面与装载台上表面位于同一水平面，被测件的另一端面接触升降板；本发明作为面向超高温工作环境下芯片测试的MEMS探针结构及测试方法中的一项关键技术，有利于确保超高温工作环

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112858735 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202110051008.0 CN 201090983 Y,2008.07.23 (22)申请日 2

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