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提供一种能够执行高精度的异常检测处理的异常检测装置、异常检测方法及记录介质。该异常检测装置包括：取得部，取得在制造工艺的预定处理单元中伴随对象物的处理而测定出的时间序列数据组；以及学习部，包括对所取得的所述时间序列数据组进行处理的多个网络部、及对通过利用该多个网络部进行处理而输出的各输出数据进行合成的连接部，并且以使由该连接部输出的合成结果与在所述制造工艺的所述预定处理单元中对所述对象物进行处理时所取得的表示异常程度的信息接近的方式，针对所述多个网络部及所述连接部进行机器学习。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112885740 A
(43)申请公布日 2021.06.01
(21)申请号 202011341480.X
(22)申请日 2020.11.25
(30)优先权数据
2019-2174
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