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本发明涉及一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统及检测方法，测量系统包括光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜头模块和采集计算模块。光源模块射出复色光束通过色散镜头模块，色散成不同波长的多个光束，再聚焦至运动载物模块上的被测物，移动运动载物模块以进行被测物表面各位置图像信息采集，光纤再反射至反射镜头模块又180度反射回来，射向采集计算模块。采集计算模块采集被测物表面反射的聚焦光斑的波长和颜色信息，通过波长信息计算出被测物表面的相对轴向高度数据，将采样点信息的轴向高度与对应的水平位置坐标信息进行三
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112857263 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110097625.4
(22)申请日 2021.01.25
(71)申请人 华侨大学
地址 36
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