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本发明公开了一种应用上更多元,能降低成本、耗能、故障率,并节约空间的湿制程用清洁机构,其技术手段为清洁机构能配合湿制程设备应用,清洁机构至少包括配合湿制程设备设置的机器臂机构及清洁头组;机器臂机构包含水平、垂直位移机构及机器臂、快速公接头,水平位移机构设于湿制程设备后侧,垂直位移机构设于水平位移机构顶侧面,并能被其带动位移,机器臂设于垂直位移机构前侧处,能被其带动位移,快速公接头设于机器臂自由端;清洁头组至少包含水清洗头、药液清洁头及干燥头,其三者皆设有快速母接头,水清洗头能调整喷水角度,快速母
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112885737 A
(43)申请公布日
2021.06.01
(21)申请号 20191
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