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2023-06-08 发布于四川
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一种折反式深紫外光刻物镜系统设计方法.pdf

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本发明公开了一种折反式深紫外光刻物镜系统设计方法。本发明通过分组复合及迭代设计方法进行初始结构的设计，从而快速高效的得到折反射式光刻物镜系统初始结构。物镜系统包括三个子系统：第一镜组G1，第二镜组G2和第三镜组G3。物镜系统设计方法包括如下步骤：根据设计需求设计G1和G3初始结构；设置G1的像面为G2的物面，G2的像面为G3的物面；设置G2，包括相对设置的2片反射镜，通过矩阵光学计算G2的球面初始结构，并对G2的球面初始结构进行分组复合及迭代拟合设计，完成G2镜组初始结构设计。通过后续优化设计，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112859543 B (45)授权公告日 2021.12.14 (21)申请号 202110141736.0 G02B 27/00 (2006.01)

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