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本发明提供了一种电容器及其形成方法。通过使电容介质层中的第二介质层为非连续性而具有开口，从而可使第一介质层和/或第三介质层还能够设置在开口中，相当于提高了第一介质层和/或第三介质层在电容介质层中的含量，此时即可设置第一介质层和/或第三介质层为高K材料，进而有利于提高电容介质层的整体介电常数，并且第一介质层和第三介质层可通过开口相互连接而容易具有相同的膜层品质，使其工艺更为简单。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112864322 A
(43)申请公布日 2021.05.28
(21)申请号 202110291878.5
(22)申请日 2021.03.18
(71)申请人 福建省晋华集成电路有限公司
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